Zur Aufnahme der Magnetisierung von magnetischen Schichten wird uunter anderem der irkularer, magentischer Röntgendichroismus verwendet, welcher an Absorbtionskanten besonders ausgeprägt ist. Messungen im EUV-Wellenlängenbereich, erlauben elementabhängige Abbildung an den Absorbtionskanten von gebräuchlichen Materialien wie Eisen, Cobalt oder Nickel.
Bild: FZ Jülich | Daniel Wilson
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Die PANTHER-Anlage erlaubt die Messung der spekularen Reflektivität einer Dünnschichtenprobe mit verschiedenen Wellenlängen und unter verschiedenen Einfallswinkeln um Parameter wie Dicke, Dichte usw. zu bestimmen.
Bild: RWTH EUV | Maksym Tryus
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Mittels Scatterometrie lassen sich periodische Strukturen auf Oberflächen untersuchen. Die kurze Wellenlänge von EUV-Strahlung macht selbst Fehler in Oberflächenstruktur im Nanometerbereich sichtbar - auch bei normalerweise transparenten Materialien.
Bild: RWTH EUV | Aleksiy Maryasov
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