EUV-Scatterometrie
Projektmitglieder Scatterometrie
| Name | Kontakt |
|---|---|
| Oleksiy Maryasov M. Sc. Doktorand | +49 241 8906 8085 +49 241 8906 112 aleksey.maryasov@ilt.fraunhofer.de |
| Mewael Giday Sertsu M.Sc. Doktorand, EXTATIC | +49 241 8906 8085 +49 241 8906 112 mewael.sertsu@ilt-extern.fraunhofer.de |