EUV-Scatterometrie
Projektmitglieder Scatterometrie
Name | Kontakt |
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Oleksiy Maryasov M. Sc. Doktorand | +49 241 8906 8085 +49 241 8906 112 aleksey.maryasov@ilt.fraunhofer.de |
Mewael Giday Sertsu M.Sc. Doktorand, EXTATIC | +49 241 8906 8085 +49 241 8906 112 mewael.sertsu@ilt-extern.fraunhofer.de |