h1

h2

h3

h4

h5
h6

Zum Inhaltsbereich Zur Hauptnavigation Zur Suche

Logo des Lehr- und Forschungsgebiets Experimentalphysik des Extrem-Ultraviolett EUV
Suche

Lehr- und Forschungsgebiet Experimentalphysik des Extrem-Ultraviolett EUV

  • English

Fakultäten und Einrichtungen

Sie sind hier: EUV-Scatterometrie

RWTH

  • Hauptseite
  • Intranet

Fakultäten und Institute

  • Mathematik, Informatik, NaturwissenschaftenFakultät 1
  • ArchitekturFakultät 2
  • BauingenieurwesenFakultät 3
  • MaschinenwesenFakultät 4
  • Georessourcen und MaterialtechnikFakultät 5
  • Elektrotechnik und InformationstechnikFakultät 6
  • Philosophische FakultätFakultät 7
  • WirtschaftswissenschaftenFakultät 8
  • MedizinFakultät 10

Institut suchen:

Einrichtungen

  • Universitätsbibliothek
  • IT Center
  • Hochschulsport
  • Zentrale Hochschulverwaltung
  • Alle Einrichtungen

Navigation

  1. Studium
  2. Forschung
  3. Das Lehr- und Forschungsgebiet

Sie sind hier:

  1. Home
  2. Forschung
  3. Messtechnik und Bildgebung
  4. EUV-Scatterometrie
Drucken
Auf LinkedIn teilen
Auf Xing teilen
Auf Twitter teilen
Auf Facebook teilen

Sub-Navigation

  • Messtechnik und Bildgebung
    • XMCD
    • Mikroskopie mit EUV und weicher Röntgenstrahlung
    • Dunkelfeldmikroskopie
    • Kohärente Beugungsmikroskopie
    • Reflektometrie mit EUV und weicher Röntgenstrahlung
    • Sie sind hier:EUV-Scatterometrie
  • EUV-Interferenzlithographie
  • Laser unterstützte Gasentladung
  • Photoelektronen-Spektroskopie und -Mikroskopie
  • Publikationen
 

EUV-Scatterometrie

Kontakt

Name

Oleksiy Maryasov

Doktorand

Telefon

work
+49 241 8906 8085

E-Mail

E-Mail
E-Mail schreiben
 
 
 

Projektmitglieder Scatterometrie

Name Kontakt
Oleksiy Maryasov M. Sc.
Doktorand
+49 241 8906 8085
+49 241 8906 112
aleksey.maryasov@ilt.fraunhofer.de
Mewael Giday Sertsu M.Sc.
Doktorand, EXTATIC
+49 241 8906 8085
+49 241 8906 112
mewael.sertsu@ilt-extern.fraunhofer.de

Letzte Aktualisierung: 24.03.2015

nach oben

Footer

RWTH

  • RWTH Startseite
  • Fakultät

Service

  • Kontakt und Lagepläne
  • Impressum
  • Sitemap
  • Datenschutzerklärung
  • Barrierefreiheitserklärung
  • Feedback

Weitere Angebote

  • PGI 9 FZJ
  • Extatic
  • Fraunhofer ILT
  • JARA-FIT

Einrichtungen

  • Fachgruppe Physik
  • LLT
  • TOS
  • NLD
  • DAP