Realisierung eines hochauflösenden EUV-Mikroskops mit einer optimierten Gasentladungsquelle zum Betrieb mit Wellenlängen um 17 nm zur Mikroskopie an M-Kanten von Elementen

Aachen (2017) [Dissertation / PhD Thesis]

Authors

Selected Authors

Freiberger, Ralf

Identifier

  • REPORT NUMBER: RWTH-2017-08548