Kooperationen

  Netzwerk Fraunhofer ILT

Die Arbeiten am Lehr- und Forschungsgebiet Experimentalphysik des Extrem-Ultravioletts erfolgen in Kooperation mit dem Peter Grünberg Institut (PGI) des Forschungszentrums Jülich, speziell dem PGI-9: Halbleiter-Nanoelektronik (Prof. Dr. Detlev Grützmacher) im Bereich wissenschaftlicher Anwendungen und Probenherstellung, dem Fraunhofer-Institut für Lasertechnik in Aachen (FhG-ILT) im Bereich Quellenentwicklung und dem im Maschinenbau angesiedelten Lehrstuhl für Technologie Optischer Systeme (TOS) der RWTH AACHEN (Prof. Dr. Peter Loosen) im Bereich industrieller Anwendungen. Wir sind außerdem eingebettet in die Sektion JARA-FIT der Jülich-Aachen-Research Alliance. Außerdem nehmen die Arbeiten zur kontrollierten Herstellung von periodischen Nanostrukturen über große Flächen eine Querschnittsaufgabe im Sonderforschungsbereich SFB 912 „Nanoswitches – Resistively Switching Chalcogenides for Future Electronis – Structure, Kinetics, and Device Scalability“ zwischen der RWTH AACHEN und Forschungszentrum Jülich ein.